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estrutura & amp; características
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Câmara de quartzo de 6 "od x 10" h para limpeza fácil e carregamento de amostras
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Titular de amostra rotativa de 2 "de diâmetro para revestimento de película uniforme
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aquecedor de bobina de tungstênio e cadinho de alumina para revestimento de alta temperatura até 1700 ºC
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controle de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis e precisão de +/- 1 ºc
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alto vácuo pode ser alcançado até 1.0e-5 torr via turbopump opcional
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porta de fluxo de gás e válvula são incorporados para purga de câmara e possibilidade de cvd
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potência de entrada
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tensão de entrada: 208 - 240 vac 50/60 hz, monofásica
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potência de entrada: 500 w
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Potência de saída: 40 a corrente máxima. corrente de trabalho recomendada & lt; 20 a
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cabo de alimentação incluído sem o plugue
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controle de temperatura & amp; aquecedores
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aquecedor de bobina de tungstênio com um termopar é construído na parte inferior do cadinho de alumina (para controle de temperatura (fig. 1). por favor, consulte a imagem da esquerda para dimensões
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termopar tipo s padrão (incluído e instalado) - aquecimento a partir de 200 ºC - 1500 ºC (foto 2)
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termopar tipo b opcional (com custo extra) - aquecimento a partir de 1200 ºC - 1700 ºC
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um controlador de temperatura digital com 30 segmentos programáveis e precisão de +/- 1 ºc (foto 3)
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as configurações de tempo do controlador de temperatura estão em segundos. Recomendamos limitar a taxa de aquecimento / resfriamento da temperatura a 0,3 ºC / s (ou 20 ºC / min) abaixo de 1200 ºC e limitar a 0,15 ºC / s (ou 10 ºC / min) de 1200 a 1700 ºC
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para aquecimento contínuo acima de 1300 ºc, por favor limite o tempo de operação para menos de 1 hora para preservar a vida útil da flange inferior o-ring
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para revestimentos rápidos até 2000 ° c, como o necessário no revestimento de carbono, o usuário pode remover termopar, bloco térmico de alumina e cadinho de alumina, carregar material de evaporação diretamente no aquecedor de bobina de tungstênio e usar o modo de controle manual atual (fig. 4 )
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quatro cadinhos de alumina (até 1700 ºC) e dois aquecedores de bobina de tungstênio estão incluídos. por favor, consulte a seção opcional para encomendar peças de reposição
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suporte de amostra
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um 50 mm de diâmetro O estágio de amostra rotativo e seu obturador são instalados no flange superior.
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velocidade de rotação: 5 rpm
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a distância entre o suporte da amostra e a fonte de evaporação é ajustável de 40 mm a 85 mm
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monitor de espessura de filme (opcional)
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sensor de espessura de quartzo de precisão é opcional. Ele pode ser embutido na câmara para fornecer monitoramento instantâneo da espessura do filme com precisão de 0,10 Å. unidade de exibição led fora da câmara pode:
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informações de material de revestimento de entrada com base no banco de dados incluído
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exibir espessura total de revestimento e velocidade de revestimento
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precisão filme fino & amp; sistemas de análise de revestimento - eq-tfms-ld está disponível a um custo extra
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vácuo
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porta de vácuo kf25 é instalada para conectar a uma bomba de vácuo
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o vácuo mais alto pode atingir & lt; 4,0e-6 torr, bombeando durante a noite com bomba turbomolecular opcional
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uma bomba de vácuo é necessária para o revestimento. por favor escolha entre as seguintes opções de produtos
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sem bomba de vácuo. medidor de diafragma de capacitância anticorrosiva está incluído para o vácuo até 1.0e-6 torr
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bomba de vácuo de palheta rotativa de duplo estágio com armadilha de vapor para eliminar a névoa de óleo, que pode atingir vácuo até 1,0 e 2 torr para a evaporação de materiais nobres metálicos, como ouro, prata e materiais orgânicos.
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entrada de gás
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O encaixe de tubo de 1/4 é construído para purga em câmara ou processamento de gás de conformação
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uma válvula de agulha é embutida para controlar a taxa de fluxo de gás
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opcional
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extra cadinho de alumina e aquecedor de bobina de tungstênio pode ser encomendado em tmax a um custo extra
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No total 4 fontes de evaporação podem ser utilizados cadinhos para depositar múltiplos materiais diferentes para cultivar multicamadas uma a uma na mesma atmosfera da câmara.
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dimensão global
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dimensão da câmara de quartzo
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o.d.:165mm
i.d .: 150 mm
comprimento: 250mm
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conformidade
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garantia
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garantia limitada de um ano com suporte vitalício
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peso líquido
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peso de envio & amp; dimensões
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130 lbs, 40 "x 30" x 32 "
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Notas de aplicação
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Para alcançar o alto vácuo necessário para a evaporação de alguns materiais, o usuário pode
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verifique a câmara, o anel de vedação e a flange quanto a qualquer partícula, fibra ou arranhão. usar tecido sem fiapos umedecido com álcool isopropílico (ipa) para limpar a superfície
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usar fita aquecedora para assar a câmara a 150ºC e pré-aquecer o aquecedor da bobina e o cadinho a 500ºC enquanto bombeia com a bomba turbo opcional por pelo menos 2 horas
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bombeie a câmara durante a noite sem aquecimento se for necessário um vácuo superior a 1,0e-5 torr
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o aplicador pode ser colocado numa caixa de luvas de ar ou n2 para evaporação térmica de humildade & amp; materiais sensíveis ao oxigênio, como li metal.
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não inicie o programa de aquecimento ou aumente manualmente a corrente sem uma câmara fechada e um vácuo!
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não libere o vácuo ou pare de bombear quando o aplicador estiver em operação de evaporação! durante o resfriamento do aquecedor, pare de bombear ou libere o vácuo somente quando a temperatura estiver abaixo de 100 ºC!
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