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característica
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especialmente projetado para revestimento de filme condutor de ouro para sem amostra
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revestidor de pulverização catódica compacto projetado para revestimentos metálicos, como ouro, platina e prata
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1 2 "alvo de ouro (4n) está incluído
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tensão de entrada
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220 vac 50 / 60hz, 200w
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& lt; 1000 w (incluindo potência da bomba de vácuo)
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110vac de energia está disponível usando um Transformador de 1000 w (15 um fusível) . o transformador é vendido separadamente
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voltagem de saída
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corrente de pulverização
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Corrente de pulverização ajustável de 0 a 50 ma (máx.)
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medidor de corrente digital (ma)
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proteção contra sobrecorrente
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tempo de sputtering
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câmara de espécime
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tubo de vidro de quartzo, 165 mm od. x 150 mm id x 150 mm de altura
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estágio do espécime
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2 "de diâmetro
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altura ajustável, 30 - 80 mm da amostra para o alvo
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cabeça de sputtering
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2 "cabeça de pulverização de magnetron
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um obturador operado manualmente para proteção de alvo
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pressão de vácuo
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medidor digital de pressão de vácuo (pa)
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conector da bomba de vácuo kf25
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pressão máxima de vácuo 1 pa pela bomba mecânica. a bomba não está incluída
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bomba de vácuo (opcional)
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Recomenda-se a bomba de palhetas rotativa de duplo estágio eq-fyp.
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opcional: você pode usar um bomba de turbo para conseguir vácuo 1.0e-5 torr por uma bomba turbo (clique na imagem inferior direita)
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gás de entrada
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um encaixe de tubo do tipo swagelok de 1/4 é instalado para conectar o cilindro de gás inerte
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uma válvula de medição está no painel frontal para ajustar o gás de entrada
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alvo
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um dia de 50 mm. Alvo de ouro x 0.12mm está incluído
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Folha de ouro de pureza 4n: 50 mm (2 polegadas) de diâmetro. x 0,12 mm (incluído e pré-instalado no aplicador)
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alvos opcionais estão disponíveis
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alvo au (50 mm de diâmetro x 0,12 mm, 4n de pureza)
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alvo pt (50 mm de diâmetro x 0,12 mm, 4n de pureza)
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alvo ag (50 mm de diâmetro x 0,5 mm, 4n de pureza)
este modelo é adequado para revestimento de ouro, prata e platina. não é adequado para revestir material metálico leve como al, mg, zn ou carbono alvo devido à baixa energia. por favor considere o nosso revestidor de pulverização catódica de alta potência dc / rf ou evaporador térmico.
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dimensão e peso do produto
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460 mm (l) × 330 mm (l) × 520 mm (h)
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20 kg
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peso de envio & amp; dimensão
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conformidade
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certificado ce
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pronto para passar a certificação ul / csa a um custo extra.
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garantia
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um ano limitado com suporte vitalício
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Notas de aplicação
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Para obter a melhor resistência de aderência de filme-substrato, limpe a superfície do substrato antes do revestimento:
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limpeza ultrassônica (clique na figura abaixo para fazer o pedido) com os seguintes banhos sequenciais - (1) acetona, (2) álcool isopropílico - para remover óleo e graxa. secar o substrato com n2, depois cozer a quente em vácuo para remover a umidade absorvida
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a limpeza do plasma (clique na imagem abaixo para encomendar) pode ser necessária para a rugosidade da superfície, ativação de ligações químicas de superfície ou remoção de contaminação adicional
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uma fina camada de buffer (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, poderia ser aplicada para melhorar a aderência de metais e ligas
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um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 mpa para uso seguro. por favor use & gt; 5n pureza ar gás para pulverização de plasma
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o revestidor de pulverização catódica pode ser colocado em uma caixa de luva de gás ar e n2 para revestimento
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por favor, revestimento múltiplo para aumentar a espessura do revestimento, por favor, deixe a máquina esfriar por minutos serval entre cada uso, uma vez que não tem refrigeração a água
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alta voltagem! cabeças de pulverização conectam-se a alta tensão. por segurança, o operador deve desligar o equipamento antes do carregamento da amostra e das operações de troca de alvo
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este modelo não é adequado para revestir material metálico leve como al, mg, zn ou alvo de carbono devido à baixa energia. por favor, considere o nosso revestidor de pulverização catódica ou coating evaporação térmica. (clique nas imagens abaixo para mais detalhes)
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Louis@lithmachine.com
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