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compact dc magnetron sputtering coater máquina de revestimento com integração plc

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  • Email : Louis@lithmachine.com
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compact dc magnetron sputtering coater máquina de revestimento com integração plc

compact dc magnetron sputtering coater máquina de revestimento com integração plc

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

compact dc magnetron sputtering coater máquina de revestimento com integração plc



vtc-16-sm é um alto poder Área de Trabalho magnetron coagulador por plasma com um resfriamento a água 2 "cabeça alvo , refrigerador de água e porta-amostras rotativo. a unidade de revestimento é projetada para revestir todos os filmes metálicos até Bolacha de 4 "de diâmetro Incluindo zn, al, ti e carbono filme leve a um custo acessível. um alvo al é incluído para uso imediato. ( desde 18 de maio de 2015, este produto não vem mais com bomba de vácuo no pacote padrão. )

especificações

tensão de entrada

  • 220 vac 50 / 60hz
  • 110 v de energia está disponível usando um Transformador de 1000 w (15 um fusível ). o transformador é vendido separadamente.

potência de saída

  • 1600 vdc
  • 250 w
  • 150 ma máx.
  • built-in sobre a proteção atual (& gt; 150 ma)

câmara de espécime

  • tubo de vidro de quartzo, 165 mm od. x 150 mm id x 250 mm de altura


cabeça de pulverização & amp;
estágio do espécime


  • 2 “cabeça de pulverização de magnetron flexível com camisa de refrigeração a água está incluída (fig.1)
  • um estágio de amostra de aço inoxidável de 50 mm de diâmetro é rotativo de 0 - 5 rpm
  • um obturador operado manualmente para proteção de alvo. (Figura 2)
  • o suporte da cabeça de pulverização está disponível para manter a cabeça de pulverização enquanto não funciona.
  • a distância entre a cabeça de sputtering e o estágio da amostra é ajustável de 60 a 100 mm.
  • área máxima de revestimento: 4 "diâmetro max.
  • 1 resfriador de água recirculante a ar 10 l / min está incluído para resfriar a cabeça de pulverização. (fig.6)

Painel de controle

  • Painel de controle de 6 "touch-screen colorido com integração plc para fácil operação
  • um painel para todos os parâmetros monitor e controle: vácuo, corrente.

pressão de vácuo final

  • porta de vácuo kf25 embutida
  • o sistema requer um tanque de gás com regulador de pressão. (não incluso)
  • & lt; 1,0e-2 torr por bomba de vácuo de palhetas (não incluída) para metas al, ag, pt, cu, mo (não sensíveis ao ar)
  • & lt; 1,0e-5 torr por bomba turbomolecular (não incluída) para al, alvos mg, li, lr, ti, zn (sensíveis ao ar)
  • o vácuo mais baixo pode atingir & lt; 4.0e-6 torr bombeando durante a noite e assando

atmosfera de gás

  • uma válvula de agulha instalada para permitir a entrada de gás para obter um melhor revestimento de plasma
  • o sistema requer um tanque de gás com o regulador de pressão (não incluído)


alvo

· um alvo de cobre de 2 "é incluído para teste, tamanho do alvo: 2" dia.x 2.5mm.

  • também pode revestir ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg , etc. quase todo tipo de material metálico.
  • Aviso : alvo de alumínio, cromo ou níquel pode ser revestido por esta máquina, mas por favor veja o método de revestimento recomendado antes de usar.
  • por favor usando o sputtering do magnetron do plasma do rf para revestir o alumina

monitor de espessura de filme opcional

  • o monitor da espessura da película é opcional a custo extra
  • estágio de amostra aquecível até 500 ° c está disponível mediante solicitação e custo extra
  • O medidor de vazão para entrada de gás de controle preciso está disponível mediante solicitação e custo extra.

dimensão global

  • l 440 mm × l 330 mm × h 290 mm

peso líquido

  • 20 kg

peso de envio & amp; dimensão

  • £ 160
  • 45 "x 45" x 40 "

conformidade

  • aprovação de ce
  • A certificação nrtl está disponível mediante solicitação e por um custo extra. Por favor, entre em contato com nosso representante de vendas para cotação.

garantia

  • um ano limitado com suporte vitalício

Notas de aplicação

  • aviso: cabeça de pulverização conecta a alta tensão. o operador deve usar luvas durante a operação
  • certifique-se de que o alvo, a cabeça de pulverização, o substrato e o estágio de aquecimento estejam limpos antes do revestimento, use a lixa e o álcool para limpar e limpar o alvo de al ou níquel cada vez que usar.




Magnetron Sputtering Coater









pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.