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Máquina de revestimento giratória sputtering do revestidor do plasma de 3 alvos com o calefator 500c

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  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Máquina de revestimento giratória sputtering do revestidor do plasma de 3 alvos com o calefator 500c

Máquina de revestimento giratória sputtering do revestidor do plasma de 3 alvos com o calefator 500c

  • :

    VTC-16-3HD-LD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

Máquina de revestimento giratória sputtering do revestidor do plasma de 3 alvos com o calefator 500c



O vtc-16-3hd-ld é um compactador de pulverização por plasma de três alvos rotativos compacto certificado pelo ce com um controlador digital touch screen, e um aquecedor de substrato capaz de aquecer até 500 ° c. Pode revestir de 1 a 3 tipos de materiais metálicos para amostrar com o diâmetro até 50 mm. três alvos de pulverização: ouro, prata, cobre são incluídos para uso imediato. ( atualizado em 21 de agosto de 2015: adicionar escudo / sem bomba )

especificações:

potência de entrada

  • monofásica 220 vac, 50 / 60hz
  • 700 w (incluindo bomba de vácuo)
  • para usar 110 vac, incluiremos um transformador para você. por favor, selecione a voltagem nas opções do produto

potência de saída

  • 1600 vdc
  • 40 ma max

Câmara de vácuo

  • câmara de vácuo: 150 mm di x 165 mm x x 150 mm h, em quartzo de alta pureza
  • flange de vedação feita de aço inoxidável com o-ring plano

Estágio de amostra com aquecedor

  • tamanho do palco: 50 mm dia.
  • faixa de distância de pulverização: 25 - 40 mm ajustável
  • estágio giratório com três posições de pulverização (controlado pela tela sensível ao toque)
  • aquecedor de substrato está embutido com uma temperatura máxima de aquecimento de 500 ° c
  • controlador de temperatura pid com precisão de +/- 1 ° c é integrado na tela sensível ao toque

Painel de controle

  • Ecrã táctil a cores de 6 ”com integração plc para um funcionamento fácil
  • medidor de vácuo, medidor de corrente de pulverização e controle de temperatura do substrato são integrados ao painel da tela de toque
  • botões de ajuste no painel frontal para entrada de gás e controle de corrente de pulverização
  • posição de pulverização, temporizador de pulverização e registro de processo são acessíveis a partir da tela sensível ao toque

escudo

  • aço inoxidável gaiola de escudo está incluído para proteção extra

alvos de pulverização

  • requisitos de tamanho do alvo: 47 mm dia. x 2,5 mm máx
  • Três alvos são incluídos no pacote padrão para uso imediato:
    • alvo au 47 mm dia. x 0,12 mm
    • alvo ag 47 mm dia. x 0,5 mm
    • alvo cu 47 mm dia. x 2,5 mm
  • vários alvos estão disponíveis para pedidos em tmax

bomba de vácuo
(opcional)




  • porta de vácuo kf25 integrada para conexão a uma bomba de vácuo.
  • bomba de vácuo com conector kf25 é necessária, mas não incluída. o usuário pode escolher
    • uma bomba de vácuo mecânica de estágio duplo para vácuo até 1,0e-2 torr.
    • ou um bomba de turbo para vácuo até 1,0e-5 torr
  • bomba de vácuo pode ser conectada na tomada de energia à esquerda da máquina de revestimento para controle automático

dimensões

  • 440 mm l × 330 mm w × 455 mm h

peso líquido

  • 50 kg

conformidade

  • aprovação de ce
  • certificação met (ul 1450) está disponível mediante solicitação a um custo extra, entre em contato com nosso representante de vendas para cotação

garantia

  • um ano limitado com suporte vitalício

Notas de aplicação

  • Para obter a melhor resistência de aderência de filme-substrato, limpe a superfície do substrato antes do revestimento:
    • limpeza ultrassônica com os seguintes banhos sequenciais - (1) acetona, (2) álcool isopropílico - para remover óleo e graxa. secar o substrato com n2, depois cozer a quente em vácuo para remover a umidade absorvida
    • limpeza de plasma pode ser necessária para desbaste de superfície, ativação de ligações químicas de superfície ou remoção adicional de contaminação
    • uma fina camada de buffer (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, poderia ser aplicada para melhorar a aderência de metais e ligas
  • um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 mpa para uso seguro. por favor use & gt; 5n pureza ar gás para pulverização de plasma
  • o revestidor de pulverização catódica pode ser colocado em uma caixa de luva de gás ar e n2 para revestimento
  • alta voltagem! cabeças de pulverização conectam-se a alta tensão. por segurança, o operador deve desligar o equipamento antes do carregamento da amostra e das operações de troca de alvo
  • este modelo não é adequado para revestir material metálico leve como al, mg, zn, ni, etc. devido à baixa energia. por favor, considere o nosso revestidor de pulverização catódica ou coating evaporação térmica. clique nas imagens abaixo para detalhes




Plasma Sputtering Coater









pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.