estrutura do forno
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forno, dois controladores de temperatura, medidores de vazão de gás de dois canais são integrados em um quadro de liga de alumínio móvel.
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a câmara é feita de tubo de quartzo de alta pureza fundido com dimesion de 11 "od / 10.8" id x 9 "h.
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as flanges de vácuo são feitas de aço inoxidável 316 e levantadas por motor elétrico.
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duas placas de aquecimento de 5 "x 5" e o espaçamento são ajustáveis.
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o suporte da amostra superior pode ser girado na velocidade de 0 a 7 rpm.
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flange superior com uma porta de vácuo kfd-25 e uma saída de gás (tubo de 1/4 "necessário) pode deslizar para cima ou para baixo manualmente para carregar e descarregar o substrato e o material evaporado facilmente.
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O flange inferior tem uma porta de vácuo kfd-25 com uma entrada de gás (tubo de 1/4 "necessário) com válvulas de agulha.
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o flange é vedado por o-rings de silicone duplo e pode atingir máx. a pressão de vácuo de 10e-2 torr por uma qualidade bomba mecânica e 10e-5 torr por uma bomba molecular (bomba de vácuo não está incluída, por favor, pedir separadamente).
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Um medidor de vácuo digital é instalado no flange superior.
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o calibre de vácuo digital anticorrosivo da precisão está no pacote padrão (desde 2016.03.24) .
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aquecedor e porta-amostras
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dois aquecedores controlados independentemente com folga ajustável manualmente de 2 a 30 mm.
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20 lâmpadas halógenas são usadas como elemento de aquecimento para processamento térmico rápido.
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Os aquecedores são feitos de aço inoxidável com revestimento frio de água para reduzir a radiação de calor e são capazes de resfriamento rápido.
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5 "dia. O suporte de bolacha circular é construído no aquecedor superior para segurar o substrato.
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um conjunto de placas alin condutoras de alta temperatura (5 "de diâmetro x 0,5 mm de espessura) é incluído (coloque na parte de trás do substrato para aquecê-lo uniformemente).
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um resfriador de água circulante de 58l / min está incluído para economizar a fonte de água (clique na imagem abaixo para ver as especificações detalhadas).
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titular da amostra superior é rotativo a velocidade ajustável 0 - 7 rpm
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controlador de temperatura
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Dois controladores de temperatura digital de precisão com 30 segmentos programáveis oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior.
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cada controlador tem uma função de autotune pid para proteger aquecedores de overshooting e uma função de alarme para evitar o superaquecimento de danificar os pares térmicos.
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interface de comunicação pc & amp; software são instalados para (clique na imagem abaixo para detalhes) perfil de temperatura de gravação mostrado abaixo.
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Temperatura de trabalho
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temperatura máxima para cada aquecedor: ≤ 800ºc.
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diferença máxima de temperatura entre dois aquecedores: ≤ 300ºc depende do espaçamento entre dois aquecedores:
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espaçamento 30mm max. diferença de temperatura: 315ºc @ apenas fundo de aquecimento
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aquecimento & amp; taxa de refrigeração
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aquecimento: & lt; 8ºc / s (apenas aquecimento único aquecedor)
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arrefecimento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.
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casal térmico
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Dois pares térmicos do tipo k são instalados nos aquecedores superior e inferior separadamente.
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tensão de trabalho
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208 - 240vac, monofásico, disjuntor a ar 50a
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exigência de energia
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10 kw no total
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peso de envio & amp; dimensão
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duas paletes: 525 lbs e 48 "x 40" x 87 "e 165 lbs com 39x31x29" dimensão
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opcional
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uma bomba de vácuo é necessária. por favor encomende separadamente clicando na primeira foto da esquerda abaixo. nível de vácuo pode atingir ≤ 10e-2 torr por bomba mecânica.
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Se estiver usando gás corrosivo, use um resfriador ou uma bomba seca anticorrosiva é mostrada na figura 2-3 a um custo extra.
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Você pode escolher o sistema de entrega de gás digital mfc clicando na primeira foto da direita abaixo.
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garantia
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um ano limitado com suporte vitalício (peças consumíveis como tubo de quartzo e lâmpadas de aquecimento não são cobertas pela garantia).
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notas de aplicação & amp; advertências
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os fornos tubulares com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. As pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000 ° C. a taxa de fluxo para gases deve ser limitada a & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) para reduzir os choques térmicos no tubo.
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uma atenção : um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 psi para operação segura.
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O suporte para pés deste forno é projetado para o transporte de curta distância apenas na superfície uniforme (sem buracos ou saliências).
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Louis@lithmachine.com
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