potência de entrada
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monofásica 220 vac, 50 / 60hz
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700 w (incluindo bomba de vácuo)
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para usar 110 vac, incluiremos um transformador para você. por favor, selecione a voltagem nas opções do produto
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potência de saída
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Câmara de vácuo

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câmara de vácuo: 150 mm di x 165 mm x x 150 mm h, em quartzo de alta pureza
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flange de vedação feita de aço inoxidável com o-ring plano
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Estágio de amostra com aquecedor
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tamanho do palco: 50 mm dia.
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faixa de distância de pulverização: 25 - 40 mm ajustável
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estágio giratório com três posições de pulverização (controlado pela tela sensível ao toque)
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aquecedor de substrato está embutido com uma temperatura máxima de aquecimento de 500 ° c
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controlador de temperatura pid com precisão de +/- 1 ° c é integrado na tela sensível ao toque
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Painel de controle

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Ecrã táctil a cores de 6 ”com integração plc para um funcionamento fácil
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medidor de vácuo, medidor de corrente de pulverização e controle de temperatura do substrato são integrados ao painel da tela de toque
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botões de ajuste no painel frontal para entrada de gás e controle de corrente de pulverização
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posição de pulverização, temporizador de pulverização e registro de processo são acessíveis a partir da tela sensível ao toque
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escudo

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aço inoxidável gaiola de escudo está incluído para proteção extra
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alvos de pulverização

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requisitos de tamanho do alvo: 47 mm dia. x 2,5 mm máx
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Três alvos são incluídos no pacote padrão para uso imediato:
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alvo au 47 mm dia. x 0,12 mm
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alvo ag 47 mm dia. x 0,5 mm
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alvo cu 47 mm dia. x 2,5 mm
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vários alvos estão disponíveis para pedidos em tmax
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bomba de vácuo
(opcional)
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porta de vácuo kf25 integrada para conexão a uma bomba de vácuo.
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bomba de vácuo com conector kf25 é necessária, mas não incluída. o usuário pode escolher
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uma bomba de vácuo mecânica de estágio duplo para vácuo até 1,0e-2 torr.
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ou um bomba de turbo para vácuo até 1,0e-5 torr
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bomba de vácuo pode ser conectada na tomada de energia à esquerda da máquina de revestimento para controle automático
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dimensões
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440 mm l × 330 mm w × 455 mm h
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peso líquido
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conformidade
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aprovação de ce
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certificação met (ul 1450) está disponível mediante solicitação a um custo extra, entre em contato com nosso representante de vendas para cotação
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garantia
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um ano limitado com suporte vitalício
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Notas de aplicação
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Para obter a melhor resistência de aderência de filme-substrato, limpe a superfície do substrato antes do revestimento:
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limpeza ultrassônica com os seguintes banhos sequenciais - (1) acetona, (2) álcool isopropílico - para remover óleo e graxa. secar o substrato com n2, depois cozer a quente em vácuo para remover a umidade absorvida
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limpeza de plasma pode ser necessária para desbaste de superfície, ativação de ligações químicas de superfície ou remoção adicional de contaminação
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uma fina camada de buffer (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, poderia ser aplicada para melhorar a aderência de metais e ligas
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um regulador de pressão de dois estágios (não incluído) deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão de saída do gás abaixo de 0,02 mpa para uso seguro. por favor use & gt; 5n pureza ar gás para pulverização de plasma
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o revestidor de pulverização catódica pode ser colocado em uma caixa de luva de gás ar e n2 para revestimento
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alta voltagem! cabeças de pulverização conectam-se a alta tensão. por segurança, o operador deve desligar o equipamento antes do carregamento da amostra e das operações de troca de alvo
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este modelo não é adequado para revestir material metálico leve como al, mg, zn, ni, etc. devido à baixa energia. por favor, considere o nosso revestidor de pulverização catódica ou coating evaporação térmica. clique nas imagens abaixo para detalhes
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