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forno de alta temperatura de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

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  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
forno de alta temperatura de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento forno de alta temperatura de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

forno de alta temperatura de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

forno de alta temperatura de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf & amp; mistura de gás & amp; sistema de bombeamento



lith-1200pecvd os fornos de tubos divididos em múltiplas zonas de deposição de vapor químico (cvd) e deposição de vapor químico (pecvd) com plasma aprimorado apresentam o famoso kanthal & reg; elementos de aquecimento de arame (Suécia) incorporados em alta qualidade mitsubishi & reg; isolamento de fibra de alumina (japão). todo o alojamento de camada dupla em aço garante durabilidade e ajuda a minimizar a perda de calor na superfície externa.

operação do forno é controlada por shimaden & reg; (japão) controlador digital de 40 segmentos com porta de comunicação digital rs485 integrada e adaptador usb, permitindo que o usuário se conecte a um PC para controle remoto e monitoramento do forno. você também pode salvar ou exportar resultados do teste.

todos os nossos fornos são compatíveis com o ce.

características

1 design compacto, portátil e leve.

2 as temperaturas de processamento mais baixas necessárias são comparadas aos cvds convencionais.

3 o estresse do filme pode ser controlado por técnicas de mistura de alta / baixa frequência.

4 câmara do forno dividido para acesso rápido e fácil ao tubo.

5 O pacote padrão inclui um conjunto de flanges de vedação a vácuo em aço inoxidável com válvulas e medidor de pressão.

6 o controle pid de auto-ajuste baseado em microprocessador fornece um ótimo processo térmico com o mínimo de superação.

7 são possíveis processos de atmosfera múltipla em um único ciclo (por exemplo: queima do aglutinante no ar e sinterização de peças sob vácuo forte ou ambiente de gás inerte).

8 amperímetro integrado e voltímetros duplos para fácil monitoramento e solução de problemas.

9 interface de computador embutida.

10 termopar tipo vida longa k.

11 A opção de forno deslizante oferece taxas de resfriamento ultra-rápidas

segurança

1 a proteção contra superaquecimento desliga o forno se a temperatura estiver fora da faixa aceitável (consulte o manual do controlador) ou quando o termopar estiver quebrado ou com mau funcionamento.

2 a proteção contra falha de energia retoma a operação do forno logo após o ponto de falha quando a energia é restabelecida.

Atenção! nunca encha o forno com gases explosivos, incluindo hidrogênio, monóxido de carbono e metano.


especificações do forno, bomba de vácuo e sistema de mistura de gás

material do tubo

quartzo

elemento de aquecimento

kanthal & reg; fio da bobina de resistência (suécia)

máx. vs temperaturas de trabalho constantes

1200 ° c máx. e 1100 ° c constante

tipo de termopar

k

revestimento refratário

mitsubishi & reg; (japão) alumina de fibra de 1500 graus

controlador de temperatura

shimaden & reg; (japão) fp93 com 4 programas e 40 segmentos
(ou seja, 4 x 10 segmentos ou 2 x 20 segmentos)

aquecimento máximo & amp; taxa de refrigeração

& lt; 30 ° c / min

precisão do controlador de temperatura

+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f)

kit de flange de vedação a vácuo

flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com um medidor de vácuo,
duas válvulas e quatro blocos térmicos de cerâmica.

requisitos elétricos

208-240vac, 50/60 hz, fase monofásica



especificações do gerador de rf

requisitos elétricos

208-240 volts 50/60 hz

potência de saída

5 a 500 watts, ajustável em +/- 1% de passo

frequência rf

13 mhz com +/- 0,005% de estabilidade

poder de reflexão

200 watts máx.

Coincidindo

automático

porta de saída rf

50 Ω, tipo n, fêmea

resfriamento

ar

Pacote padrão

Descrição parcial

quantidade

imagem da peça

forno de tubo dividido

1 conjunto

sistema de abastecimento de gás multicanal

1 conjunto

fonte de alimentação de plasma rf (opcional)

1 conjunto

bomba de vácuo e compartimento (opcional)

1 conjunto

tubo de quartzo

1 pc

medidor de vazão analógico

1 pc

flanges de vedação a vácuo em aço inoxidável c / medidor de pressão

1 conjunto



gancho de aço inoxidável

1 pc



bloco térmico de cerâmica de alumina

2 pares



luvas térmicas

1 par

fusível de reposição

2 peças

kit de interface de computador usb / rs485

1 conjunto





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticolisão interna, embalagem de caixa de madeira para exportação externa.

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com as necessidades dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, mudará a parte danificada para você gratuitamente.

tempo de entrega : 15-20 dias após a confirmação do pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

temporada de produção e quantidade da ordem.