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Forno de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

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  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Forno de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento Forno de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

Forno de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás e sistema de bombeamento

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
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    Louis@lithmachine.com

Forno de 1200 ° c pe / cvd com gerador de rf e mistura de gás & amp; sistema de bombeamento



lith-1200pecvd deposição de vapor químico (cvd) e deposição de vapor químico com plasma melhorado (pecvd) fornos de tubo dividido de várias zonas apresentam o famoso kanthal & reg; (suécia) elementos de aquecimento de arame embutidos em alta qualidade mitsubishi & reg; (japão) isolamento de fibra de alumina. todo o invólucro de camada dupla em aço garante durabilidade e ajuda a minimizar a perda de calor na superfície externa.

a operação do forno é controlada por shimaden & reg; (japão) Controlador digital de 40 segmentos com porta de comunicação digital rs485 integrada e adaptador usb, permitindo que o usuário conecte a um PC para controle remoto e monitoramento do forno. Você também pode salvar ou exportar os resultados do teste.

Todos os nossos fornos são complacentes.

características

1 design compacto, portátil e leve.

2 temperaturas de processamento mais baixas são necessárias em comparação com as cvds convencionais.

3 O stress do filme pode ser controlado por técnicas de mistura de alta / baixa frequência.

4 câmara de forno bipartida para acesso rápido e fácil ao tubo.

5 pacote padrão inclui conjunto de flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com válvulas e medidor de pressão.

6 O controle pid de autoajuste baseado em microprocessador fornece um ótimo processo térmico com um mínimo de overshoot.

7 processos de atmosfera múltipla em um único ciclo são possíveis (ex: o aglutinante queima no ar e a sinterização de peças sob vácuo bruto ou ambiente de gás inerte).

8 medidor de amp integrado e voltímetros duplos para fácil monitoramento e solução de problemas.

9 interface de computador incorporada.

10 termopar tipo k de longa vida.

11 Opção de forno deslizante oferece taxas de resfriamento ultrarrápidas

segurança

1 a proteção contra superaquecimento desliga o forno se a temperatura estiver fora da faixa aceitável (consulte o manual do controlador) ou quando o termopar estiver quebrado ou tiver problemas de funcionamento.

2 a proteção contra falha de energia reinicia a operação do forno logo após o ponto de falha quando a energia é restabelecida.

Aviso! Nunca encha o forno com gases explosivos, incluindo hidrogênio, monóxido de carbono e metano.


forno, bomba de vácuo e especificações do sistema de mistura de gás

material do tubo

quartzo

elemento de aquecimento

kanthal & reg; (suécia) fio de bobina de resistência

max. vs constantes temperaturas de trabalho

1200 ° c max. e 1100 ° c constante

tipo de casal thermo

k

revestimento refratário

mitsubishi & reg; alumina da fibra da categoria de (japão) 1500

controlador de temperatura

shimaden & reg; (japão) fp93 com 4 programas e 40 segmentos
(ou seja, 4 x 10 segmentos ou 2 x 20 segmentos)

aquecimento máximo & amp; taxa de refrigeração

& lt; 30 ° c / min

precisão do controlador de temperatura

+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f)

kit de flange de vedação a vácuo

flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com um medidor de vácuo,
duas válvulas e quatro blocos cerâmicos térmicos.

requisitos elétricos

208-240vac, 50/60 hz, monofásico



especificações do gerador de rf

requisitos elétricos

208-240 volts 50/60 hz

potência de saída

5 a 500 watts, ajustável em +/- 1% passo

frequência de rf

13 mhz com estabilidade de +/- 0,005%

poder de reflexão

200 watts max.

Coincidindo

automático

porta de saída rf

50 Ω, tipo n, feminino

resfriamento

ar

Pacote padrão

Descrição parcial

quantidade

imagem da peça

fornalha tubular

1 conjunto

sistema de abastecimento de gás multicanal

1 conjunto

fonte de alimentação de plasma RF (opcional)

1 conjunto

bomba de vácuo e invólucro (opcional)

1 conjunto

tubo de quartzo

1 pc

medidor de vazão analógico

1 pc

flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com medidor de pressão

1 conjunto



gancho de aço inoxidável

1 pc



bloco térmico cerâmico de alumina

2 pares



luvas térmicas

1 par

fusível de reposição

2 peças

kit de interface de computador usb / rs485

1 conjunto





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.