Email:Louis@lithmachine.com
:
LITH-1200-SlidingPECMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysEmail :
Louis@lithmachine.commini zona de temperatura única deslizante forno tubo pecvd
lith-1200-slidingpec sistema é composto de forno de tubo de vácuo tl1200, câmara de vácuo de quartzo, fonte de alimentação rf, sistema de fornecimento de gás gx, sistema de bombeamento e sistema de medição de vácuo.
principais características:
1. o gás na câmara de vácuo de quartzo é alterado para o estado iônico pela fonte de alimentação rf.
2. pecvd é menor que o normal cvd para deposição de vapor químico.
3. o estresse dos filmes depositados pode ser controlado pela freqüência de fornecimento de energia rf.
4. pecvd tem alta taxa de deposição, boa uniformidade, consistência e estabilidade do que o normal cvd.
5. amplamente utilizado no crescimento de vários filmes, tais como siox, sinx, sioxny e silício amorfo (a-si: h), etc.
a lith-1200-slidingpec técnica do sistema para o elemento de resistência de fio de resistência kanthal sueco, usando estrutura de escudo duplo e tabela de controle de temperatura de 30 programa, gatilho de mudança de fase, controle tiristor, forno usando material de fibra de alumina policristalina, pode flange de aço inoxidável em ambas as extremidades do tubo do forno, instalação de flange de aço inoxidável tem uma boca, válvula e manômetro, vácuo, grau de vácuo pode atingir 10-3 pa, balanceamento de campo de baixa temperatura, temperatura da superfície, taxa de elevação de temperatura, economia de energia, concessões de preços, etc.
1. fio de resistência kanthal a1 da suécia
Kanthal a1 fio original fio de resistência chinesa forno vs forno de arame de resistência importado
(1), a temperatura de superfície alta pode alcançar 1420 ℃
(2) a superfície é de aço inoxidável (muito brilhante, o cliente deve prestar atenção a ele), ele não vai enferrujar, e o tempo de uso não vai cair a escória.
(3) dados do fio de resistência kanthal é baixado
(4) site de fio de resistência kanthal: www.kanthal.com
(5) a resistência é equilibrada e o campo de temperatura é igualmente bom
.jpg)
a maioria dos fabricantes usa liga de fibra de vidro dopada por fio de resistência mo, que
às vezes a resistência é desigual e parte do calor é pequeno kanthal a1 resistência é uniforme e calor equilibrado, efeito de campo de temperatura boa
2. instalação de interruptor de ar e protetor de vazamento:
Quando uma corrente elétrica ou vazamento, uma reunião vazia desconecta automaticamente.
3 pode se conectar com o computador
este forno está equipado com interface de comunicação e software, pode ser diretamente através do controle de computador do forno de cada parâmetro, e pode ser observado a partir do computador pv no fogão e valor de temperatura sv e operação do instrumento, a temperatura real do computador de desenho curva curva em tempo real, e pode manter os dados de temperatura de cada vez, pode ligar a qualquer momento
4 câmara
(1 ) alta qualidade de alta pureza alumina policristalina forno curado com sucção a vácuo e moldagem por filtro.
(2). adotar tecnologia japonesa para formar.
(3). o espaçamento e o passo do fio de resistência no forno são organizados de acordo com a melhor tecnologia térmica do Japão, e o campo de temperatura é simulado por software térmico
(4). usando 4 semanas de aquecimento, a temperatura é mais equilibrada
5. placa elétrica certificada ul opcional (tudo através da certificação ul de aparelhos elétricos importados)
6. gatilho
gatilho limitador de corrente de partida suave a maioria dos fabricantes usam gatilhos xiamen não-limitadores
.jpg)
1 gatilho de mudança de fase (com partida suave e função limitadora de corrente)
2. função de limitação de corrente, não importa como ajustar o tempo de aquecimento que forno elétrico após a corrente secundária do transformador está limitada a 170a ou menos limitada proteção do equipamento. acionamento não limitativo se a taxa de aquecimento estiver configurada incorretamente ou muito rápida. Corrente de baixa corrente é muito grande o dispositivo irá desarmar ou queimar.
3 função de partida suave a corrente irá aumentar lentamente a corrente o impacto do elemento de aquecimento é pequeno é propício para a extensão da vida útil do elemento de aquecimento
4 a função de proteção se a corrente excede a corrente limite o gatilho irá automaticamente cortar a função de gatilho para cortar o forno de proteção atual.
7. ul transformador certificado
1 o cabo do transformador é cobre puro
2 o som do transformador pequeno
3 a temperatura do transformador é baixa
8. uma variedade de opções para escolher uma variedade de flanges (diâmetro de 25 a 250mm)
|
modelo |
lit -1200-slidingpecvd1 |
lit -1200-slidingpecvd2 |
|
|
poder |
1,5kw |
||
|
tamanho do tubo |
dia25 (od) x1250mm |
dia50 (od) x1250mm |
|
|
dimensões gerais (lxdxh) |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
|
|
a tensão de alimentação |
220 v |
||
|
material do trilho deslizante |
304 de aço inoxidável |
||
|
modo deslizante |
rolamento de aço inoxidável |
||
|
número de fase |
Fase única |
||
|
elemento de aquecimento |
importação sueco canthal a1 resistência fio clique em download de dados |
||
|
o modo de controle |
usando o termômetro de controle de programa elétrico yu (padrão)
mesa de controle de temperatura fp93 instrumentos europeus instrumento touchscreen (shimaden) |
||
|
o modo de controle de temperatura |
pid |
||
|
quebrado mesmo proteção e exibição |
sim |
||
|
sobre a proteção de temperatura |
sim |
||
|
sobre a proteção atual |
sim |
||
|
precisão de controle |
+ / - 1 ℃ |
||
|
o gatilho |
gatilho de mudança de fase |
||
|
aparelhos eletricos |
zhejiang chint |
||
|
retificador controlado por silicone |
106 / 16e portão oeste, alemanha |
||
|
a temperatura mais alta |
zona de temperatura1: 1200 ℃ zona de temperatura 2: 1200 ℃ |
||
|
a temperatura nominal |
zona de temperatura1: 1100 ℃ zona de temperatura 2: 1100 ℃ |
||
|
taxa de aquecimento |
os 20 ℃ / min ou menos (pode modificar de acordo com a exigência ) |
||
|
taxa de aquecimento recomendada |
10 ℃ / min ou les s |
||
|
modelo de termopar |
zonas 1: faixa de temperatura de k tipo 2: tipo k |
||
|
comprimento de aquecimento |
zonas 1: faixa de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm |
||
|
certificação elétrica |
ce |
||
|
temperatura da superfície circundante |
45 ℃ ou les s |
||
|
fonte de alimentação rf |
|
||
|
faixa de potência |
0 a 500 w |
||
|
potência máxima refletida |
200 w. |
||
|
freqüência de trabalho |
rf: 13,56 mhz mais ou menos 0,005% |
||
|
estabilidade de energia |
+ / - 0,1% |
||
|
componente harmônico |
- 50 ou menos dbc |
||
|
largura do rf |
0-600 - mm é ajustável |
||
|
modo de correspondência |
automático |
||
|
modo de refrigeração |
ar frio |
||
|
barulho |
o & lt; 50 db |
||
|
a interface de radiofrequência |
50 Ω tipo n |
||
|
potência de entrada |
208-240 - v 50/60 hz |
||
|
principais parâmetros do sistema de fornecimento de gás gx
|
Medidor de fluxo de massa |
||
|
canais: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional) |
||
|
tipo de articulação |
conector de aço inoxidável de dupla cassete |
||
|
faixa de pressão de trabalho do sistema |
0,1 ~ 0,5 mpa |
||
|
Temperatura de trabalho |
5-45 ℃ |
||
|
relógio de vácuo de pressão |
0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / case |
||
|
câmara de mistura estática |
dia50 x 400 mm |
||
|
interface |
dia6 1/4 " |
||
|
a fonte de energia |
220 v |
||
|
Tamanho |
600 x600x600 |
||
|
tubo corrugado |
kf25x1000mm |
||
|
o grau de vácuo pode ser alcançado com este sistema |
10-1 o pa |
||
|
válvula de defletor de vácuo |
kf25 |
||
|
vrd a 8 bomba de vácuo |
|||
|
modelo |
vrd para 8 |
||
|
limitando a pressão parcial |
5 x 10 a 2 pa |
||
|
interface de escape de entrada |
kf25 |
||
|
velocidade do motor |
1440 rpm |
||
|
taxa de extração |
2,2 l / s |
||
|
potência do motor |
0,4 kw |
||
|
Bomba de raízes de vários estágios sem óleo de perfeer acp1 (plano 2) |
|||
|
modelo |
acp15 |
||
|
fonte de energia |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
||
|
poder |
450 w |
||
|
interface de escape |
kf25 |
||
|
peso |
25 kg |
||
|
a taxa máxima de vazamento de hélio é |
5 · 10-8 pa m3 / s |
||
|
grau extremo de vácuo |
0,02 torr |
||
|
a taxa de extração é |
14 m3 / h |
||
|
modelo |
zdr - 1 |
||
|
poder |
25 w. |
||
|
faixa de medição de grau de vácuo |
0,1-10 5 pa |
||
|
silício de resistência |
o que zj tinha que 52 t |
||
|
suécia (inficon) pirani capacitância medidor de vácuo (opcional) |
|||
|
modelo |
pcg554 |
||
|
tensão de entrada |
24v 1a dc (equipado com transformador 220v) |
||
|
interface de manômetro a vácuo |
kf16 |
||
|
tela digital |
display digital (tela tamanho 20x14mm), cuja unidade de exibição de dados é torr |
||
|
tamanho do produto |
46 mm x 28 mm x 126 mm (l x l x h) |
||
|
o peso do |
5 libras |
||
|
detecção de gás |
vários gases podem ser detectados, incluindo gases mistos, precisos e repetíveis. |
||
|
se o anti-corrosão |
proteção contra corrosão |
||
|
o tempo de resposta |
30 ms ou menos |
||
|
faixa de medição |
3,8 x10-5-1125 torr. |
||
|
unidade de bomba molecular (opcional) |
|||
|
tensão de entrada da unidade |
380 v / 220 v |
||
|
tubo corrugado |
kf40x1000 |
||
|
válvula de defletor de vácuo |
kf40 |
||
|
tamanho do caso |
600 x600x600 |
||
|
bomba molecular |
|
||
|
modelo de bomba molecular |
fj620 |
||
|
tensão de entrada |
380 v |
||
|
flange de entrada da bomba molecular |
dn160 |
||
|
taxa de bombeamento da bomba molecular l / s (para o ar) |
600 |
||
|
pressão limite da bomba molecular (pa) |
6 x 10-7 |
||
|
sistema de refrigeração |
refrigerado a água |
||
|
pressão da água de resfriamento (mpa) |
0,1 a 0,2 |
||
|
temperatura da água de refrigeração |
& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt; |
||
|
a temperatura ambiente |
0 ~ 40 ℃ |
||
|
pressão inicial sugerida |
& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt; |
||
|
bomba de vácuo do motor rvp - 6 |
|||
|
poder |
0,75 kw |
||
|
Voltagem |
380 v |
||
|
Rapidez |
1450 rpm |
||
|
diâmetro de entrada |
kf25 / kf40 |
||
|
taxa de bombeamento da bomba (l / s) |
6 |
||
|
pressão final |
4 x 10-2 pa |
||
|
bomba de vácuo alemã pfeiffer |
|||
|
Voltagem |
220 v |
||
|
poder |
110 w. |
||
|
interface de extração |
kf40 |
||
|
o peso do |
150 kg |
||
|
velocidade da bomba da bomba dianteira |
0,9 m 3 / h |
||
|
taxa de extração (n2) |
33 m / s |
||
|
calibre de vácuo composto |
|||
|
modelo de calibre de vácuo composto |
zdf |
||
|
a fonte de energia |
220 v 55 w |
||
|
precisão de controle |
mais ou menos 1% |
||
|
faixa de medição de vácuo |
10-5-10 5 pa |
||
1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação
2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.
3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.
tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com
época de produção e quantidade da ordem.
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
