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pequeno 4 "sistema de forno de tubo rtp com estação de vácuo turbomolecular e acessórios completos

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  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
pequeno 4 "sistema de forno de tubo rtp com estação de vácuo turbomolecular e acessórios completos

pequeno 4 "sistema de forno de tubo rtp com estação de vácuo turbomolecular e acessórios completos

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

pequeno 4 "sistema de forno de tubo rtp com estação de vácuo turbomolecular e acessórios completos


lith-1200x-rtp-hv-ld é um UL forno de processamento térmico rápido compacto certificável (4 "i.d.) forno com alta estação de vácuo (bomba de diafragma + bomba turbo molecular) e montagem de flange de vácuo kf-d25. ele é projetado para annealing wafer semicondutor ou célula solar até 3" de diâmetro. a O forno é aquecido por 8 unidades de luz halógena de 1kw em torno do tubo de processamento com um máx. taxa de aquecimento de max. 50c / segundo. Controlador de temperatura de precisão de 50 segmentos é construído com precisão +/- 1 ° c.


forno

estrutura

forno de tubo compacto 4 "rtp forro da mulite do caso da dupla camada de aço)

elemento de aquecimento

Tubo da luz do halogênio de 8 PCes (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

temp de trabalho.

1100 ° c max. ( o tempo máximo de espera do forno de rtp deve ser inferior a 600 segundos a 1000ºc ~ 1100ºc, caso contrário o anel pode derretimento )

taxa de aquecimento máxima

50 ° c / seg

taxa de resfriamento máxima

64 ° c / min (sob vácuo: 200 mtorr), 117 ° c / min (sob pressão atmosférica)

zona de aquecimento

12 "comprimento com 4" zona de temperatura constante dentro de +/- 1 ° c uniformidade

temp do programa. controlador

  • controle automático pid via scr (retificador controlado a silício) controle de potência com ângulo de fase disparado, resistor limitador de corrente.
  • 30 segmentos programáveis ​​para controle preciso da taxa de aquecimento, taxa de resfriamento e tempo de permanência.
  • por favor clique aqui para saber porque scr é mais preciso que ssc (relé de estado sólido).
  • construído na função de auto-sintonização pid com superaquecimento & amp; proteção quebrada do par termo quebrado.
  • a proteção e o alarme da temperatura excedente permitem a operação sem assistente (s).
  • +/- 1 º c de precisão de temperatura.
  • porta de comunicações rs485.
  • controle do pc:
    • uma mts-02 módulo de controle está incluído para o controle do PC neste forno.
    • a nova versão do módulo pc agora é compatível com a visão de laboratório 05/08/2014
    • um laptop pode ser encomendado por US $ 900 juntamente com o forno. Recomendamos que você solicite um computador (laptop) para evitar problemas de instalação de software. vamos realizar a instalação e testes antes do envio .

tubo de quartzo & amp; suporte de amostra

  • tamanho do tubo de quartzo: 4,33 "o.d x 4,05" i.d x 16,2 "de comprimento
  • 3 "diâmetro titular da amostra é inserido a flange deslizante, que é feito de quartzo
  • uma bolacha de 3 "de diâmetro é colocada no centro do suporte para uma amostra de recozimento de até 3" de diâmetro.
  • aln tem uma condutividade térmica muito alta, que proporciona a melhor uniformidade de temperatura na área da amostra
  • o suporte da amostra é removível da flange

flange de vácuo

flange de alto vácuo kf-d25 é feito de aço inoxidável com oi-temp duplo. O-rings de silicone, válvulas de agulha.
O flange deslizante facilita o carregamento da amostra. 3 "suporte de amostra de quartzo. Casal térmico capaz de inserir para medição precisa.

jaqueta de resfriamento de água

  • água de resfriamento é necessária.
  • por favor, verifique se a taxa de fluxo de água de resfriamento é ≥ 10l / min, temp de água. & lt; 25ºc; pressão & gt; 25 psi.
  • sugerimos usar a série eq-kj5000 resfriador de água recirculante como um sistema de refrigeração (por favor, encomende separadamente em produtos relacionados abaixo) para economizar água.

aviso: o tempo máximo de permanência deste forno de rtp deve ser inferior a 600 segundos a 1000ºc ~ 1100ºc com água da torneira, caso contrário o o-ring pode derreter. com o uso de um resfriador de água recirculante, esse tempo de espera pode ser estendido para 1200 segundos.

medidor de vazão

um medidor de vazão é instalado no painel frontal para ajustar o fluxo de gás de 0 - 160 ml / min

entrada de energia

208-240 ac, 50/60 hz monofásica, 9 kw máx. (& gt; 60a disjuntor requerido)

estação hv
estação de alto vácuo

estrutura

  • Tamanho do carrinho móvel: 600 (l) x 600 (l) x 700 (m), mm
  • max. carregamento: 600 lbs no topo
  • painel de controle molecular da bomba: lcd digital
  • bomba de diafragma e bomba molecular turbo são instalados dentro da caixa de aço.

grau de vácuo

6.3e-5 mbar (com forno tubular de 4 "RTT em 40 minutos)

Painel de controle

  • operação de um botão - a bomba de diafragma e a bomba turbo-molecular começam depois de pressionar o botão "start".
  • Velocidade de spining controlada pelo sistema - o controlador controlará a velocidade da turbina subindo e descendo de acordo com o nível de vácuo e taxa de vazamento da câmara de reação.
  • auto-proteção - o sistema protegerá a bomba contra danos por superaquecimento e sobrecorrente se a taxa de vazamento da câmara de reação estiver muito alta para atingir alto vácuo.
  • Ecrã LCD - interface de verificação de parâmetros de linhas duplas facilitar o trabalho a ser manuseado.
auto teste girando

tempo de arranque

2 minutos

taxa de fluxo de volume da bomba de apoio a 10 mbar

3,8 l / min para 50hz e 4,4 l / min para 60hz

entrada de energia

110v ac ou 220v ac comutável, 50 / 60hz

consumo de energia

duração / potência máxima: 100 / 110watt

Informação de Envio

peso e dimensão

forno rtp: 110 lbs, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "polegadas) l x w x h
estação hv: 40 lbs, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") l x l x h

garantia

dois anos de garantia limitada com suporte vitalício (peças consumíveis como tubos de processamento, o-rings não são cobertos pela garantia, solicite substituições em produtos relacionados abaixo.)

laptop, software & amp; controle wifi (opcional)

  • novo laptop com microsoft window 10 e microsoft office 2013 (30 dias de teste gratuito) para uso imediato.
  • sistema de controle de temperatura baseado em labview permite ao usuário editar o perfil de temperatura, gerenciar receita de tratamento térmico, registrar e traçar dados para fornos mti.
  • um controle remoto sem fio fornece alcance de operação de até 300 metros.
  • os recursos acima estão disponíveis mediante solicitação por um custo extra (até US $ 1.000). Entre em contato conosco para mais informações.

conformidade

  • certificado ce
  • o forno está pronto para passar ul 61010, iec 61010, spe-1000 testado por nrtls a um custo extra. entre em contato conosco para cotações e informações detalhadas.
  • controlador de temperatura é cumprido e certificado ce
  • estação de alto vácuo é certificada pela tuv



Tube Furnace









pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.