:
OTF-1200X-RTP-IIMOQ :
1Compliance:
CE CertifiedWarranty:
1 yearDelivery Time:
5 daysEmail :
Louis@lithmachine.com
O otf-1200x-rtp-ii é um forno de processamento térmico rápido de duas zonas de aquecimento com 11 "o.d tubo de quartzo. ele é projetado para pvd ou css ( sublimação espaçada ) revestimento de filme de até 3 "de diâmetro ou 2" x2 "quadrado. o forno é aquecido por dois grupos de aquecedores de halogênio (superior e inferior) separadamente com taxa de aquecimento máxima de 20ºc / s Dois controladores de temperatura de precisão de 30 segmentos são construídos com +/- precisão 1stc.rs software de porta e controle rs485 estão incluídos para permitir a operação de log de perfil de temperatura e forno via pc.é excelente ferramenta para pesquisa de película fina de nova geração para células solares, como cdte, sulfeto e p célula solar erovskita.
especificações:
estrutura do forno & amp; Câmara de vácuo |
· aquecedor duplo, dois controladores de temperatura, medidores de vazão de gás de dois canais são integrados em um quadro de liga de alumínio móvel · a câmara é feita de tubo de quartzo fundido de alta pureza · tamanho do tubo de quartzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h · as flanges de vácuo são feitas de aço inoxidável 316 · dimensão total: 850 (l) × 745 (l) × 1615 (h) mm
|
flanges de vácuo |
· flange superior com uma porta de vácuo kfd-25 e duas saídas de gás (tubo de 1/4 "necessário) pode deslizar para cima ou para baixo manualmente para carregar e descarregar o substrato e o material evaporado facilmente · flange inferior tem uma porta de vácuo kfd-25 com duas entradas de gás (tubo de 1/4 "necessário) e válvulas de agulha · o flange é selado por o-rings dobro do silicone e pode conseguir a pressão máxima do vácuo de 10e-2 torr por uma bomba mecânica da qualidade e por 10e-5 torr por uma bomba molecular (a bomba de vácuo não é incluída, pede por favor separada) · o calibre de vácuo digital anticorrosivo da precisão está no pacote padrão (desde 2016.03.24) . |
medidores de fluxo de gás
|
dois medidores flutuantes são instalados no painel de controle com faixa de medição de: · 16 -160 ml / m · 400 - 4000 ml / m (para fins de purga) |
aquecedor e porta-amostras
|
· duas lâmpadas de ondas curtas ir como elementos de aquecimento para aquecimento rápido. · a distância entre dois aquecedores é ajustável de 10 a 50 mm · os aquecedores são feitos de aço inoxidável com revestimento de água fria para reduzir a radiação de calor e permitir resfriamento rápido · 3 "rodada wafer titular é construído com aquecedor superior para carregar o substrato · uma placa aln de alta condutividade térmica (3 "dia x 0,5mm de espessura) é incluída, que deve ser colocada na parte de trás do substrato para aquecê-lo uniformemente · uma placa de grafite de 3 "pode ser usada alternativamente para uma placa, por favor clique na imagem abaixo para encomendar. · substituição de aquecedor de luz halógena está disponível a um custo extra
|
|
· Dois controladores de temperatura digital de precisão com 30 segmentos programáveis oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior · cada controlador tem função de autoajuste pid para proteger aquecedores de overshooting e função de alarme para evitar o superaquecimento e par térmico quebrado · interface de comunicação pc & amp; software está instalado para (clique na imagem abaixo para detalhes) perfil de temperatura de gravação mostrado abaixo
|
|
· temperatura máxima para cada aquecedor: & lt; = 650ºc · diferença máxima de temperatura entre dois aquecedores: & lt; = 300ºc depende do espaçamento entre dois aquecedores: o espaçamento 30mm max. diferença de temperatura: 315ºc @ apenas fundo de aquecimento o espaçamento 40mm max. diferença de temperatura: 350 ° c @ apenas fundo de aquecimento o espaçamento 50 mm max. diferença de temperatura: 395º c @ apenas fundo de aquecimento |
aquecimento & amp; taxa de refrigeração |
· aquecimento: & lt; 8ºc / s (apenas aquecimento único aquecedor) · arrefecimento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max. |
Dois pares térmicos tipo k (expostos) são instalados nos aquecedores superior e inferior separadamente |
|
tensão de trabalho |
208 - 240vac, monofásico, disjuntor a ar 20a |
exigência de energia |
2200w no total (1100 w para cada aquecedor) |
|
· uma bomba de vácuo é necessária. por favor encomende separadamente clicando na primeira foto da esquerda abaixo. nível de vácuo pode atingir & lt; = 10e-2 torr por bomba mecânica · Se você executar o gás corrosivo, por favor considere usar bomba seca anti-corrosiva é mostrada na segunda foto da esquerda abaixo (bomba pfeiffer da Alemanha) a um custo extra · você pode pedir um resfriador de água de recirculação para economizar a fonte de água separadamente · você pode escolher o sistema de entrega de gás digital mfc clicando na primeira foto da direita abaixo
|
garantia |
um ano limitado com suporte vitalício (peças consumíveis como tubo de quartzo e lâmpadas de aquecimento não são cobertas pela garantia) |
laptop, software & amp; controle wifi (opcional) |
· novo laptop com microsoft window 10 e microsoft office 2013 (30 dias de teste gratuito) para uso imediato. · sistema de controle de temperatura baseado em labview ( eq-mts01 ) permite ao usuário editar o perfil de temperatura, gerenciar receita de tratamento térmico, registrar e traçar dados para fornos mti. · um controle remoto sem fio fornece alcance de operação de até 300 metros. · os recursos acima estão disponíveis mediante solicitação por um custo extra (até US $ 1.000). Entre em contato conosco para mais informações. ·
Nota: |
Notas de aplicação |
por favor leia o artigo: célula solar de alta eficiência css cdte |
|
· os fornos tubulares com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. As pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000 ° C. a taxa de fluxo para gases deve ser limitada a & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) para reduzir os choques térmicos no tubo. · atenção : um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 psi para operação segura. |
1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação
2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.
3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.
tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com
época de produção e quantidade da ordem.