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forno compacto de duas zonas css para processamento térmico rápido com tubo de quartzo de 11 "o.d

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  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
forno compacto de duas zonas css para processamento térmico rápido com tubo de quartzo de 11 "o.d

forno compacto de duas zonas css para processamento térmico rápido com tubo de quartzo de 11 "o.d

  • :

    OTF-1200X-RTP-II
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

forno compacto de duas zonas css para processamento térmico rápido com tubo de quartzo de 11 "o.d



O otf-1200x-rtp-ii é um forno de processamento térmico rápido de duas zonas de aquecimento com 11 "o.d tubo de quartzo. ele é projetado para pvd ou css ( sublimação espaçada ) revestimento de filme de até 3 "de diâmetro ou 2" x2 "quadrado. o forno é aquecido por dois grupos de aquecedores de halogênio (superior e inferior) separadamente com taxa de aquecimento máxima de 20ºc / s Dois controladores de temperatura de precisão de 30 segmentos são construídos com +/- precisão 1stc.rs software de porta e controle rs485 estão incluídos para permitir a operação de log de perfil de temperatura e forno via pc.é excelente ferramenta para pesquisa de película fina de nova geração para células solares, como cdte, sulfeto e p célula solar erovskita.


especificações:

estrutura do forno & amp; Câmara de vácuo
Two Zones CSS Furnace

· aquecedor duplo, dois controladores de temperatura, medidores de vazão de gás de dois canais são integrados em um quadro de liga de alumínio móvel

· a câmara é feita de tubo de quartzo fundido de alta pureza

· tamanho do tubo de quartzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· as flanges de vácuo são feitas de aço inoxidável 316

· dimensão total: 850 (l) × 745 (l) × 1615 (h) mm

flanges de vácuo

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

· flange superior com uma porta de vácuo kfd-25 e duas saídas de gás (tubo de 1/4 "necessário) pode deslizar para cima ou para baixo manualmente para carregar e descarregar o substrato e o material evaporado facilmente

· flange inferior tem uma porta de vácuo kfd-25 com duas entradas de gás (tubo de 1/4 "necessário) e válvulas de agulha

· o flange é selado por o-rings dobro do silicone e pode conseguir a pressão máxima do vácuo de 10e-2 torr por uma bomba mecânica da qualidade e por 10e-5 torr por uma bomba molecular (a bomba de vácuo não é incluída, pede por favor separada)

· o calibre de vácuo digital anticorrosivo da precisão está no pacote padrão (desde 2016.03.24) .

medidores de fluxo de gás

Two Zones CSS Furnace

dois medidores flutuantes são instalados no painel de controle com faixa de medição de:

· 16 -160 ml / m

· 400 - 4000 ml / m (para fins de purga)

aquecedor e porta-amostras
Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· duas lâmpadas de ondas curtas ir como elementos de aquecimento para aquecimento rápido.

· a distância entre dois aquecedores é ajustável de 10 a 50 mm

· os aquecedores são feitos de aço inoxidável com revestimento de água fria para reduzir a radiação de calor e permitir resfriamento rápido

· 3 "rodada wafer titular é construído com aquecedor superior para carregar o substrato

· uma placa aln de alta condutividade térmica (3 "dia x 0,5mm de espessura) é incluída, que deve ser colocada na parte de trás do substrato para aquecê-lo uniformemente

· uma placa de grafite de 3 "pode ​​ser usada alternativamente para uma placa, por favor clique na imagem abaixo para encomendar.

· substituição de aquecedor de luz halógena está disponível a um custo extra

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



controlador de temperatura

· Dois controladores de temperatura digital de precisão com 30 segmentos programáveis ​​oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior

· cada controlador tem função de autoajuste pid para proteger aquecedores de overshooting e função de alarme para evitar o superaquecimento e par térmico quebrado

· interface de comunicação pc & amp; software está instalado para (clique na imagem abaixo para detalhes) perfil de temperatura de gravação mostrado abaixo



Temperatura de trabalho

· temperatura máxima para cada aquecedor: & lt; = 650ºc

· diferença máxima de temperatura entre dois aquecedores: & lt; = 300ºc depende do espaçamento entre dois aquecedores:

o espaçamento 30mm max. diferença de temperatura: 315ºc @ apenas fundo de aquecimento

o espaçamento 40mm max. diferença de temperatura: 350 ° c @ apenas fundo de aquecimento

o espaçamento 50 mm max. diferença de temperatura: 395º c @ apenas fundo de aquecimento

aquecimento & amp; taxa de refrigeração

· aquecimento: & lt; 8ºc / s (apenas aquecimento único aquecedor)

· arrefecimento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) max.

casal térmico

Dois pares térmicos tipo k (expostos) são instalados nos aquecedores superior e inferior separadamente

tensão de trabalho

208 - 240vac, monofásico, disjuntor a ar 20a

exigência de energia

2200w no total (1100 w para cada aquecedor)





opcional

· uma bomba de vácuo é necessária. por favor encomende separadamente clicando na primeira foto da esquerda abaixo. nível de vácuo pode atingir & lt; = 10e-2 torr por bomba mecânica

· Se você executar o gás corrosivo, por favor considere usar bomba seca anti-corrosiva é mostrada na segunda foto da esquerda abaixo (bomba pfeiffer da Alemanha) a um custo extra

· você pode pedir um resfriador de água de recirculação para economizar a fonte de água separadamente

· você pode escolher o sistema de entrega de gás digital mfc clicando na primeira foto da direita abaixo

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

garantia

um ano limitado com suporte vitalício (peças consumíveis como tubo de quartzo e lâmpadas de aquecimento não são cobertas pela garantia)

laptop, software & amp; controle wifi (opcional)

· novo laptop com microsoft window 10 e microsoft office 2013 (30 dias de teste gratuito) para uso imediato.

· sistema de controle de temperatura baseado em labview ( eq-mts01 ) permite ao usuário editar o perfil de temperatura, gerenciar receita de tratamento térmico, registrar e traçar dados para fornos mti.

· um controle remoto sem fio fornece alcance de operação de até 300 metros.

· os recursos acima estão disponíveis mediante solicitação por um custo extra (até US $ 1.000). Entre em contato conosco para mais informações.

·

Nota:
o software é compatível apenas com o controlador de temperatura yudian da mti
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace ·

Notas de aplicação

por favor leia o artigo: célula solar de alta eficiência css cdte


Aviso
Two Zones CSS Furnace

· os fornos tubulares com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. As pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000 ° C. a taxa de fluxo para gases deve ser limitada a & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) para reduzir os choques térmicos no tubo.

· atenção : um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 psi para operação segura.





CSS Furnace









pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.