Produtos
Casa Produtos Lab Coater Sputtering Coater

sistema de evaporação térmica compacto com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação

Contate-nos

  • Contact Person : Louis Yang
  • Email : Louis@lithmachine.com
  • Endereço : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
sistema de evaporação térmica compacto com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação

sistema de evaporação térmica compacto com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação

  • :

    GSL-1700X-EV4
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Email :

    Louis@lithmachine.com

sistema de evaporação térmica compacto com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação



O gsl-1700x-ev4 é um sistema compacto de evaporação térmica com um total de 4 cadinhos de fonte de evaporação e precisão e controle de temperatura programável. quatro cadinhos de evaporação poderiam ser usados ​​para depositar vários materiais diferentes para produzir filmes multicamadas um a um na mesma atmosfera da câmara. o sistema é adequado para revestir a maior parte do filme de materiais metálicos e orgânicos com tamanho de até 2 "de 200 ºC a 1500 ºC (ou 200 ºC - 1700 ºC com termopar do tipo b opcional).

especificações:

estrutura & amp; características
Thermal Evaporating System

  • 280 mm o.d. x 260 mm i.d. x câmara de quartzo de 310 mm de altura para facilitar a limpeza e o carregamento da amostra
  • Fontes de evaporação rotativas de 2 "de diâmetro para o revestimento de filme uniforme
  • aquecedor de bobina de tungstênio e cadinho de alumina para revestimento de alta temperatura até 1700 ºC
  • controle de temperatura de precisão com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºc
  • alto vácuo pode ser alcançado até 1.0e-5 torr via turbopump opcional
  • porta de fluxo de gás e válvula são incorporados para purga de câmara e possibilidade de cvd

potência de entrada
Thermal Evaporating System

  • Tensão de entrada: CA 208 - 240 v 50/60 Hz, monofásica (110 V CA está disponível via transformador 1500 W)
  • potência de entrada: 1.200 w
  • Potência de saída: 12 v e 30 a corrente máxima. corrente de trabalho recomendada & lt; 30 a
  • cabo de alimentação incluído sem ficha

controle de temperatura & amp; aquecedores
Thermal Evaporating System

quatro cadinhos de evaporao de alumina com 3 ml de cada capacidade. quatro fontes não podem ser usadas ao mesmo tempo. o depósito de multicamadas seria feito um por um.
  • aquecedor de bobina de tungstênio com um termopar é construído na parte inferior do cadinho de alumina (para controle de temperatura (fig. 1). por favor, consulte a imagem da esquerda para dimensões
  • termopar tipo s padrão (incluído e instalado) - aquecimento a partir de 200 ºC - 1500 ºC (foto 2)
  • termopar tipo b opcional (com custo extra) - aquecimento a partir de 1200 ºC - 1700 ºC
  • um controlador de temperatura digital com 30 segmentos programáveis ​​e precisão de +/- 1 ºc (foto 3)
  • as configurações de tempo do controlador de temperatura estão em segundos. Recomendamos limitar a taxa de aquecimento / resfriamento da temperatura a 0,3 ºC / s (ou 20 ºC / min) abaixo de 1200 ºC e limitar a 0,15 ºC / s (ou 10 ºC / min) de 1200 a 1700 ºC
  • para aquecimento contínuo acima de 1300 ºC, por favor, limite o tempo de operação para menos de 1 hora para preservar a vida útil da flange inferior o-ring
  • para revestimentos rápidos até 2000 ° c, como o necessário no revestimento de carbono, o usuário pode remover termopar, bloco térmico de alumina e cadinho de alumina, carregar material de evaporação diretamente no aquecedor de bobina de tungstênio e usar o modo de controle manual atual (fig. 4 )
  • quatro cadinhos de alumina (até 1700 ºC) e dois aquecedores de bobina de tungstênio estão incluídos. por favor, consulte a seção opcional para encomendar peças de reposição
  • Thermal Evaporating System

suporte de amostra rotativo
Thermal Evaporating System

  • um 50 mm de diâmetro O estágio de amostra rotativo e seu obturador são instalados no flange superior.
  • velocidade de rotação: 5 rpm
  • a distância entre o suporte da amostra e a fonte de evaporação é ajustável de 40 mm a 85 mm

sistema de análise de espessura de filme (opcional)

película fina de precisão & amp; sistemas de análise de revestimento - eq-tfms-ld está disponível a um custo extra.



vácuo

  • porta de vácuo kf25 é instalada para conectar a uma bomba de vácuo
  • o vácuo mais alto pode atingir & lt; 1e-5 torr, bombeando durante a noite com bomba turbomolecular opcional
  • uma bomba de vácuo é necessária para o revestimento. por favor escolha entre as seguintes opções de produtos
    • bomba de vácuo de palheta rotativa de duplo estágio com armadilha de vapor para eliminar a névoa de óleo, que pode atingir vácuo até 1,0 e 2 torr para a evaporação de materiais nobres metálicos, como ouro, prata e materiais orgânicos.
  • Thermal Evaporating System

entrada de gás

  • O encaixe de tubo de 1/4 é construído para purga em câmara ou processamento de gás de conformação
  • uma válvula de agulha é embutida para controlar a taxa de fluxo de gás

opcional

  • Cadinho de alumina extra e aquecedor de bobina de tungstênio pode ser encomendado em tmax a um custo extra

dimensão global

Thermal Evaporating System

dimensão da câmara de quartzo


o.d.:280mm (11 ")
i.d .: 260 mm (10,2 ")
comprimento: 310 mm (12,2 ")

conformidade

  • certificado ce

garantia

  • um ano de garantia limitada com suporte vitalício

peso líquido

  • 80 kg

peso de envio & amp; dimensões

  • 200 lbs, 40 "x 30" x 32 "

Notas de aplicação


  • Para alcançar o alto vácuo necessário para a evaporação de alguns materiais, o usuário pode
    • verifique a câmara, o anel de vedação e a flange quanto a qualquer partícula, fibra ou arranhão. use um pano sem fiapos umedecido com álcool isopropílico (ipa) para limpar a superfície
    • usar fita aquecedora para assar a câmara a 150ºC e pré-aquecer o aquecedor da bobina e o cadinho a 500ºC enquanto bombeia com a bomba turbo opcional por pelo menos 2 horas
    • bombeie a câmara durante a noite sem aquecimento se for necessário um vácuo superior a 1,0e-5 torr
  • não inicie o programa de aquecimento ou aumente manualmente a corrente sem uma câmara fechada e um vácuo!
  • não libere o vácuo ou pare de bombear quando o aplicador estiver em operação de evaporação! durante o resfriamento do aquecedor, pare de bombear ou libere o vácuo somente quando a temperatura estiver abaixo de 100 ºC!




Thermal Evaporating System









pacote:

1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte danificada para você de graça.

tempo de entrega : 15-20 dias após ter confirmado o pedido, a data de entrega detalhada deve ser decidida de acordo com

época de produção e quantidade da ordem.